Исследование процесса катодного взаимодействия металлсодержащих растворов с поверхностью кремния и разработка физико-химических основ технологических процессов легирования и металлизации кремния: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 05.12.18 Твердотельная электроника и интегральная схемотехника, включая материалы, технологию и специальное оборудование / Петрович Владимир Алексеевич
Сохранено в:
| 格式: | |
|---|---|
| 主要作者: | Петрович, В. А. |
| 出版: | Минск , 1980 |
| 實物描述: |
24 с. : граф.
|
| 語言: | Русский |
| 主題: | |
| 在線閱讀: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | 可用 預訂 | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||