Исследование процесса формирования пористого кремния и разработка на его основе межкомпонентной изоляции полупроводниковых интегральных микросхем: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.12.18 Твердотельная электроника и интегральная схемотехника, включая материалы, технологию и специальное оборудование / Бондаренко Виталий Парфирович
Zapisane w:
| Format: | |
|---|---|
| 1. autor: | Бондаренко, В. П. |
| Wydane: | Минск , 1980 |
| Opis fizyczny: |
24 с. : табл.
|
| Język: | Русский |
| Hasła przedmiotowe: | |
| Dostęp online: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Dostępne Zamów | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||