Исследование процессов формирования пористого кремния и автоэпитаксии на его поверхности: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 01.04.07 Физика твердого тела / Глиненко Лариса Константиновна

Сохранено в:
Шифр документа: Ба189491,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Глиненко, Л. К.
Опубликовано: Минск , 1983
Физические характеристики: 15, [1] с.
Язык: Русский
Предмет:
Е-документ: E-документ
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br225597
005 20190314134449.0
100 # # $a 19980803d1983 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a y m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Исследование процессов формирования пористого кремния и автоэпитаксии на его поверхности  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 01.04.07 Физика твердого тела  $f Глиненко Лариса Константиновна  $g Институт физики твердого тела и полупроводников Академии наук Белорусской ССР 
210 # # $a Минск  $d 1983 
215 # # $a 15, [1] с. 
320 # # $a Библиография в конце текста (11 назв.) 
333 # # $a Для служебного пользования 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2788606  $a ФИЗИКА ПОВЕРХНОСТИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24594  $a ПОЛУПРОВОДНИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3341921  $a МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39302  $a ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar83379  $a АНОДНОЕ ОКСИДИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2745708  $a ПОРИСТЫЙ КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39622  $a ЭПИТАКСИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39620  $a ЭПИТАКСИАЛЬНЫЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2493283  $a ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1659663  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35933  $a ФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.794.61:621.357.8(043.3)  $v 4  $z rus 
675 # # $a 621.793.3(043.3)  $v 4  $z rus 
675 # # $a 539.216.2:537.311.322(043.3)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 29.19.16  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.31  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 55.22.01  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 55.20.19  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 61.31.59  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 01.04.07  $2 nsnrsssr 
700 # 1 $3 BY-SEK-344131  $a Глиненко  $b Л. К.  $g Лариса Константиновна  $c физик 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar81841  $a Институт физики твердого тела и полупроводников  $c Минск  $4 995 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar5102567  $a Минский радиотехнический институт  $4 595 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19980803  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo 
856 4 # $u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/AD/ba189491.pdf