Исследование процессов формирования пористого кремния и автоэпитаксии на его поверхности: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 01.04.07 Физика твердого тела / Глиненко Лариса Константиновна
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Глиненко, Л. К. |
| Опубликовано: | Минск , 1983 |
| Физические характеристики: |
15, [1] с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||