Современные методы генерации потока осаждаемого вещества при нанесении тонкопленочных покрытий в вакууме / Г. Д. Карпенко, В. Л. Рубинштейн
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Карпенко, Г. Д. (1949—1999) |
| Опубликовано: | Минск : БелНИИНТИ , 1990 |
| Физические характеристики: |
35, [3] с. : ил., табл. ; 20 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Серия 55.22.19, Металлические покрытия
|
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 3 , доступно: 3 | Доступно Заказать | ||||||||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||||||||||||