|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br219425 |
| 005 |
20181120150031.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 19971112d1990 u y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a by
|
| 105 |
# |
# |
$a y 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Разработка низкотемпературного фотохимического процесса создания защитных пассивирующих покрытий интегральных схем на основе пленок нитрида кремния
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.01)
$f Мин. гос. радиотехн. ин-т
|
| 210 |
# |
# |
$a Мн.
$d 1990
|
| 215 |
# |
# |
$a 18 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: c.15-18 (23 назв.).
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11906
$a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar10861
$a ЗАЩИТНЫЕ ПОКРЫТИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23808
$a ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar22114
$a ОСАЖДЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar10862
$a АХОЎНЫЯ ПАКРЫЦЦІ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23809
$a ПЛЁНКІ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar22115
$a АСАДЖЭННЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11907
$a ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 610 |
0 |
# |
$a Пленочные схемы
|
| 610 |
0 |
# |
$a Плёначныя схемы
|
| 615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.772.002(043.3)
$v 3
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-288033
$a Калошкин
$b А. Э.
$g Андрей Эдуардович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 19971112
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060315
$g psbo
|
| 856 |
4 |
# |
$u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/AD/Ba249614.pdf
|
