Разработка низкотемпературного фотохимического процесса создания защитных пассивирующих покрытий интегральных схем на основе пленок нитрида кремния: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.01) / Мин. гос. радиотехн. ин-т
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Калошкин, А. Э. |
| Опубликовано: | Мн. , 1990 |
| Физические характеристики: |
18 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||