Двумерное моделирование высококонцентрационной диффузии ионно-имплантированного мышьяка в кремнии / В. А. Лабунов [и др.]

Сохранено в:
Шифр документа: Ба225395, 293280,
Вид документа: Книги
Опубликовано: Минск : Институт математики , 1989
Физические характеристики: 31, [1] с. : ил. ; 20 см
Язык: Русский
Серия: Препринт № 6 (356)
Предмет:
00000cam0a2200000 ib4500
001 BY-NLB-br212669
005 20240111131554.0
010 # # $d 10 к. 
100 # # $a 19930101d1989 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a ||||000yy 
109 # # $a aa 
200 1 # $a Двумерное моделирование высококонцентрационной диффузии ионно-имплантированного мышьяка в кремнии  $f В. А. Лабунов [и др.] 
210 # # $a Минск  $c Институт математики  $d 1989 
215 # # $a 31, [1] с.  $c ил.  $d 20 см 
225 1 # $a Препринт  $f Академия наук Белорусской ССР, Институт математики  $v № 6 (356) 
320 # # $a Библиография: с. 31―32 (24 назв.) 
345 # # $9 150 экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12158  $a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar9565  $a ДИФФУЗИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2113377  $a МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12159  $a ІОННАЯ ІМПЛАНТАЦЫЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15097  $a КРЭМНІЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar9566  $a ДЫФУЗІЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2113382  $a МАТЭМАТЫЧНАЕ МАДЭЛЯВАННЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar19341  $a МЫШ'ЯК  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar19340  $a МЫШЬЯК  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 539.2:539.1.04  $v 3  $z rus 
686 # # $a 29.19.17  $2 rugasnti 
701 # 1 $3 BY-SEK-118825  $a Лабунов  $b В. А.  $g Владимир Архипович  $c доктор технических наук  $f род. 1939 
701 # 1 $3 BY-SEK-191930  $a Абрашин  $b В. Н.  $g Вячеслав Николаевич  $c доктор физико-математических наук, математика  $f 1943—2005 
701 # 1 $3 BY-SEK-125964  $a Егоров  $b А. А.  $g Андрей Александрович  $c кандидат физико-математических наук, вычислительная математика  $f род. 1963 
701 # 1 $3 BY-SEK-119447  $a Величко  $b О. И.  $g Олег Иванович  $c доктор физико-математических наук, физик  $f род. 1953 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar185081  $a Институт математики  $c Минск  $4 475 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19930101  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060315  $g psbo