Двумерное моделирование высококонцентрационной диффузии ионно-имплантированного мышьяка в кремнии / В. А. Лабунов [и др.]
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | Минск : Институт математики , 1989 |
| Физические характеристики: |
31, [1] с. : ил. ; 20 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Препринт
№ 6 (356) |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||