|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-br212357 |
| 005 |
20241010095223.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 2 р. 20 к.
|
| 100 |
# |
# |
$a 19930101d1990 u y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a BY
|
| 105 |
# |
# |
$a a ||||000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a la
|
| 200 |
1 |
# |
$a Применение селективного химического осаждения металлов из газовой фазы в технологии интегральных схем
$f С. С. Дереченник, В. В. Баранов
|
| 210 |
# |
# |
$a Минск
$c БелНИИНТИ
$d 1990
|
| 215 |
# |
# |
$a 50, [1] с.
$c ил., табл.
$d 20 см
|
| 225 |
1 |
# |
$a Серия 47.13.11, Технология и оборудование для производства полупроводниковых приборов и микросхем
$e обзорная информация
$f Белорусский научно-исследовательский институт научно-технической информации и технико-экономических исследований Госплана БССР
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 45―49 (51 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 385 экз.
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11906
$a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33870
$a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11907
$a ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33871
$a ТЭХНАЛОГІЯ ВЫТВОРЧАСЦІ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2755661
$a ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ МЕТАЛЛОВ
$2 DVNLB
|
| 615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.002:621.793.3
$v 3
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 55.22.01
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-279798
$a Дереченник
$b С. С.
$g Станислав Станиславович
$c кандидат технических наук
$c старший
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-269990
$a Баранов
$b В. В.
$g Валентин Владимирович
$c доктор технических наук
$f род. 1949
|
| 712 |
0 |
2 |
$3 BY-NLB-ar201863
$a Белорусский научно-исследовательский институт научно-технической информации и технико-экономических исследований
$c Минск
$4 475
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 19930101
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060315
$g psbo
|
