Применение селективного химического осаждения металлов из газовой фазы в технологии интегральных схем / С. С. Дереченник, В. В. Баранов
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Дереченник, С. С. |
| Опубликовано: | Минск : БелНИИНТИ , 1990 |
| Физические характеристики: |
50, [1] с. : ил., табл. ; 20 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Серия 47.13.11, Технология и оборудование для производства полупроводниковых приборов и микросхем
|
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 3 , доступно: 3 | Доступно Заказать | ||||||||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||||||||||||