Вакуумная техника в технологиии изготовления интегральных микросхем: Метод. пособие по курсу "Технология полупроводниковых приборов и интеграл. схем" для студентов спец. 20.03 - "Микроэлектроника и полупроводниковые приборы" / Белорус. политех. ин-т, Каф."Технология материалов и приборов электр. техники"

Сохранено в:
Шифр документа: Ба235134, БА235135,
Вид документа: Книги
Автор: Долгий, Н. А.
Опубликовано: Мн. , 1990
Физические характеристики: 52 с.
Язык: Русский
Предмет:
МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
БОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА
МІКРАЭЛЕКТРОНІКА
ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
ВЯЛІКІЯ ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
ВАКУУМНАЯ ТЭХНІКА
ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
ТЭХНАЛОГІЯ ВЫТВОРЧАСЦІ
00000cam0a22000004ib4500
001 BY-NLB-br211316
005 20201201145232.0
010 # # $d 10 к. 
100 # # $a 19930101d1990 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a by 
105 # # $a y 000yy 
109 # # $a gb 
200 1 # $a Вакуумная техника в технологиии изготовления интегральных микросхем  $e Метод. пособие по курсу "Технология полупроводниковых приборов и интеграл. схем" для студентов спец. 20.03 - "Микроэлектроника и полупроводниковые приборы"  $f Белорус. политех. ин-т, Каф."Технология материалов и приборов электр. техники" 
210 # # $a Мн.  $d 1990 
215 # # $a 52 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 40-50 (15 назв.) 
345 # # $9 300 экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18370  $a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2105390  $a БОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4857  $a ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18371  $a МІКРАЭЛЕКТРОНІКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11907  $a ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2105397  $a ВЯЛІКІЯ ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4858  $a ВАКУУМНАЯ ТЭХНІКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33871  $a ТЭХНАЛОГІЯ ВЫТВОРЧАСЦІ  $2 DVNLB 
608 # # $3 BY-NLB-ar2273471  $a УЧЕБНО-МЕТОДИЧЕСКОЕ ПОСОБИЕ ДЛЯ СТУДЕНТОВ ВУЗОВ  $2 BYGNR 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.771.14.002.5  $v 3  $z rus 
686 # # $a 47.33.31  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.12  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-214863  $a Долгий  $b Н. А.  $g Николай Андреевич  $c кандидат технических наук 
701 # 1 $3 BY-NLB-ar2451745  $a Немцев  $b В. С.  $g Виктор Силивеевич  $c микроэлектроника  $c поэт  $f род. 1954 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19930101  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo 

Схожие документы