Вакуумная техника в технологиии изготовления интегральных микросхем: Метод. пособие по курсу "Технология полупроводниковых приборов и интеграл. схем" для студентов спец. 20.03 - "Микроэлектроника и полупроводниковые приборы" / Белорус. политех. ин-т, Каф."Технология материалов и приборов электр. техники"
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Долгий, Н. А. |
| Опубликовано: | Мн. , 1990 |
| Физические характеристики: |
52 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||