Формирование локальных золотых покрытий на корпусах интегральных схем с управлением их свойствами в технологическом цикле импульсного электроосаждения: Автореф.дис. на соиск.учен.степ.канд.техн.наук:(05.27.01) / МРТИ
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Ануфриев, Л. П. (род. 1945) |
| Опубликовано: | Мн. , 1989 |
| Физические характеристики: |
18с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||