Конструктивно-технологические методы обеспечения качества силицид- и оксидосодержащих блоков токопроводящих систем изделий полупроводниковой электроники: Автореф.дис.на соиск.учен.степ.д-ра техн.наук:(05.27.01) / Моск.ин-т электронной техники
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Баранов, В. В. (род. 1949) |
| Published: | М. , 1990 |
| Physical Description: |
51с.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| E-document: |
E-document
|
ОФХ отдела книгохранения
| All : 2 , available: 2 | Available Place a Hold | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||