Конструктивно-технологические методы обеспечения качества силицид- и оксидосодержащих блоков токопроводящих систем изделий полупроводниковой электроники: Автореф.дис.на соиск.учен.степ.д-ра техн.наук:(05.27.01) / Моск.ин-т электронной техники
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Баранов, В. В. (род. 1949) |
| Опубликовано: | М. , 1990 |
| Физические характеристики: |
51с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||