Конструктивно-технологические методы обеспечения качества силицид- и оксидосодержащих блоков токопроводящих систем изделий полупроводниковой электроники: Автореф.дис.на соиск.учен.степ.д-ра техн.наук:(05.27.01) / Моск.ин-т электронной техники
Gespeichert in:
| Format: | |
|---|---|
| 1. Verfasser: | Баранов, В. В. (род. 1949) |
| Veröffentlicht: | М. , 1990 |
| Beschreibung: |
51с.
|
| Sprache: | Русский |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Verfügbar Bestellen | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||