Конструктивно-технологические методы обеспечения качества силицид- и оксидосодержащих блоков токопроводящих систем изделий полупроводниковой электроники: Автореф.дис.на соиск.учен.степ.д-ра техн.наук:(05.27.01) / Моск.ин-т электронной техники
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Баранов, В. В. (род. 1949) |
| Апублікавана: | М. , 1990 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
51с.
|
| Мова: | Руская |
| Прадмет: | |
| Е-дакумент: |
E-дакумент
|
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 2 , даступна: 2 | Даступна Замовіць | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||