Конструктивно-технологические методы обеспечения качества силицид- и оксидосодержащих блоков токопроводящих систем изделий полупроводниковой электроники: Автореф.дис.на соиск.учен.степ.д-ра техн.наук:(05.27.01) / Моск.ин-т электронной техники

Сохранено в:
Шифр документа: Ба249295, 112479/90СК,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Баранов, В. В. (род. 1949)
Опубликовано: М. , 1990
Физические характеристики: 51с.
Язык: Русский
Предмет:
Е-документ: E-документ
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br196759
005 20181025103448.0
010 # # $d Беспл. 
100 # # $a 19930101d1990 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
105 # # $a y 000yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Конструктивно-технологические методы обеспечения качества силицид- и оксидосодержащих блоков токопроводящих систем изделий полупроводниковой электроники  $e Автореф.дис.на соиск.учен.степ.д-ра техн.наук:(05.27.01)  $f Моск.ин-т электронной техники 
210 # # $a М.  $d 1990 
215 # # $a 51с. 
300 # # $a На правах рукописи 
345 # # $9 100экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24602  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ ЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar32976  $a ТВЕРДОТЕЛЬНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18370  $a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar70227  $a ОБЕСПЕЧЕНИЕ КАЧЕСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24603  $a ПАЎПРАВАДНІКОВАЯ ЭЛЕКТРОНІКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18371  $a МІКРАЭЛЕКТРОНІКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar70228  $a ЗАБЕСПЯЧЭННЕ ЯКАСЦІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2722583  $a ОКИСНЫЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34092  $a ТОКОПРОВОДЯЩИЕ СИСТЕМЫ  $2 DVNLB 
610 0 # $a Силицидные пленки 
610 0 # $a Сіліцыдныя плёнкі 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.774  $v 3  $z rus 
686 # # $a 47.33.31  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.14.07  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-269990  $a Баранов  $b В. В.  $g Валентин Владимирович  $c доктор технических наук  $f род. 1949 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19930101  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060315  $g psbo 
856 4 # $u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/AD/Ba249295.pdf