Принципы автоматизации измерительного процесса в применении к измерению толщины эпитаксиального слоя в промышленности: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.11.13 Приборы и методы контроля веществ, материалов и изделий / Григорьев Владимир Калистратович
Enregistré dans:
Format: | |
---|---|
Auteur principal: | Григорьев, В. К. |
Publié: | Минск , 1986 |
Description matérielle: |
18 с. : ил., табл.
|
Langue: | Русский |
Sujets: | |
Accès en ligne: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 3 , доступно: 2 | Disponible Réserver | ||||||||||||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|