Принципы автоматизации измерительного процесса в применении к измерению толщины эпитаксиального слоя в промышленности: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.11.13 Приборы и методы контроля веществ, материалов и изделий / Григорьев Владимир Калистратович
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Григорьев, В. К. |
| Published: | Минск , 1986 |
| Physical Description: |
18 с. : ил., табл.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| E-document: |
E-document
|
ОФХ отдела книгохранения
| All : 3 , available: 2 | Available Place a Hold | ||||||||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||||||||||||