Принципы автоматизации измерительного процесса в применении к измерению толщины эпитаксиального слоя в промышленности: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.11.13 Приборы и методы контроля веществ, материалов и изделий / Григорьев Владимир Калистратович
Захавана ў:
Тып дакумента: | |
---|---|
Аўтар: | Григорьев, В. К. |
Апублікавана: | Минск , 1986 |
Фізіч. характарыстыкі: |
18 с. : ил., табл.
|
Мова: | Руская |
Прадмет: | |
Е-дакумент: |
E-дакумент
|
ОФХ отдела книгохранения
Усяго : 3 , даступна: 2 | Даступна Замовіць | ||||||||||||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|