Моделирование технологии формирования легированных слоев при термическом отжиге полупроводниковых структур / А. Ф. Буренко, А. И. Кирковский, В. А. Цурко
Zapisane w:
| Format: | |
|---|---|
| 1. autor: | Буренков, А. Ф. |
| Wydane: | Минск : Институт математики , 1989 |
| Opis fizyczny: |
51, [1] с. : ил. ; 20 см
|
| Język: | Русский |
| Seria: |
Препринт
№ 33 (383) |
| Hasła przedmiotowe: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Dostępne Zamów | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||