Моделирование технологии формирования легированных слоев при термическом отжиге полупроводниковых структур / А. Ф. Буренко, А. И. Кирковский, В. А. Цурко
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Буренков, А. Ф. |
| Publié: | Минск : Институт математики , 1989 |
| Description matérielle: |
51, [1] с. : ил. ; 20 см
|
| Langue: | Русский |
| Collection: |
Препринт
№ 33 (383) |
| Sujets: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Disponible Réserver | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||