Моделирование технологии формирования легированных слоев при термическом отжиге полупроводниковых структур / А. Ф. Буренко, А. И. Кирковский, В. А. Цурко
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Буренков, А. Ф. |
| Апублікавана: | Минск : Институт математики , 1989 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
51, [1] с. : ил. ; 20 см
|
| Мова: | Руская |
| Серыя: |
Препринт
№ 33 (383) |
| Прадмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 2 , даступна: 2 | Даступна Замовіць | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||