Моделирование технологии формирования легированных слоев при термическом отжиге полупроводниковых структур / А. Ф. Буренко, А. И. Кирковский, В. А. Цурко

Сохранено в:
Шифр документа: Ба229771, 304139,
Вид документа: Книги
Автор: Буренков, А. Ф.
Опубликовано: Минск : Институт математики , 1989
Физические характеристики: 51, [1] с. : ил. ; 20 см
Язык: Русский
Серия: Препринт № 33 (383)
Предмет:
00000cam0a2200000 ib4500
001 BY-NLB-br187961
005 20230717095330.0
010 # # $d 15 к. 
100 # # $a 19930101d1989 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a ||||000yy 
109 # # $a aa 
200 1 # $a Моделирование технологии формирования легированных слоев при термическом отжиге полупроводниковых структур  $f А. Ф. Буренко, А. И. Кирковский, В. А. Цурко 
210 # # $a Минск  $c Институт математики  $d 1989 
215 # # $a 51, [1] с.  $c ил.  $d 20 см 
225 1 # $a Препринт  $f Академия наук Белорусской ССР, Институт математики  $v № 33 (383) 
320 # # $a Библиография: с. 47―52 (60 назв.) 
345 # # $9 150 экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24594  $a ПОЛУПРОВОДНИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2113377  $a МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24595  $a ПАЎПРАВАДНІКІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12159  $a ІОННАЯ ІМПЛАНТАЦЫЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2113382  $a МАТЭМАТЫЧНАЕ МАДЭЛЯВАННЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12158  $a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ  $2 DVNLB 
610 0 # $a Термический отжиг 
610 0 # $a Тэрмічны адпал 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.315.002:621.78  $v 3  $z rus 
686 # # $a 47.09.29  $2 rugasnti 
686 # # $a 55.21.15  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-186601  $a Буренков  $b А. Ф.  $g Александр Федорович  $c доктор физико-математических наук 
701 # 1 $3 BY-SEK-316419  $a Кирковский  $b А. И.  $g Александр Иванович  $c математик  $c физик 
701 # 1 $3 BY-SEK-176644  $a Цурко  $b В. А.  $g Валерий Адамович  $c доктор физико-математических наук 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar185081  $a Институт математики  $c Минск  $4 475 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19930101  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060315  $g psbo