|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-br187961 |
| 005 |
20230717095330.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 15 к.
|
| 100 |
# |
# |
$a 19930101d1989 u y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a BY
|
| 105 |
# |
# |
$a a ||||000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Моделирование технологии формирования легированных слоев при термическом отжиге полупроводниковых структур
$f А. Ф. Буренко, А. И. Кирковский, В. А. Цурко
|
| 210 |
# |
# |
$a Минск
$c Институт математики
$d 1989
|
| 215 |
# |
# |
$a 51, [1] с.
$c ил.
$d 20 см
|
| 225 |
1 |
# |
$a Препринт
$f Академия наук Белорусской ССР, Институт математики
$v № 33 (383)
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 47―52 (60 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 150 экз.
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24594
$a ПОЛУПРОВОДНИКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2113377
$a МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24595
$a ПАЎПРАВАДНІКІ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12159
$a ІОННАЯ ІМПЛАНТАЦЫЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2113382
$a МАТЭМАТЫЧНАЕ МАДЭЛЯВАННЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12158
$a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
$2 DVNLB
|
| 610 |
0 |
# |
$a Термический отжиг
|
| 610 |
0 |
# |
$a Тэрмічны адпал
|
| 615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.315.002:621.78
$v 3
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.29
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 55.21.15
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-186601
$a Буренков
$b А. Ф.
$g Александр Федорович
$c доктор физико-математических наук
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-316419
$a Кирковский
$b А. И.
$g Александр Иванович
$c математик
$c физик
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-176644
$a Цурко
$b В. А.
$g Валерий Адамович
$c доктор физико-математических наук
|
| 712 |
0 |
2 |
$3 BY-NLB-ar185081
$a Институт математики
$c Минск
$4 475
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 19930101
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060315
$g psbo
|
