
Особенности формирования пленок поликристаллического кремния и их применение в интегральных схемах: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.01 / Азерб. нац. аэрокосм. агентство
Enregistré dans:
Format: | |
---|---|
Auteur principal: | Аббасов, М. Г. |
Publié: | Баку , 1999 |
Description matérielle: |
19 с.
|
Langue: | Русский |
Sujets: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Réserver | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|