Особенности формирования пленок поликристаллического кремния и их применение в интегральных схемах: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.01 / Азерб. нац. аэрокосм. агентство
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Аббасов, М. Г. |
| Опубликовано: | Баку , 1999 |
| Физические характеристики: |
19 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||