Особенности формирования пленок поликристаллического кремния и их применение в интегральных схемах: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.01 / Азерб. нац. аэрокосм. агентство

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад38806,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Аббасов, М. Г.
Опубликовано: Баку , 1999
Физические характеристики: 19 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br179329
005 20200910090313.0
100 # # $a 20000103d1999 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
105 # # $a y m 001yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Особенности формирования пленок поликристаллического кремния и их применение в интегральных схемах  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук  $e 05.27.01  $f Азерб. нац. аэрокосм. агентство 
210 # # $a Баку  $d 1999 
215 # # $a 19 с. 
300 # # $a Библиогр.: c. 17-18 (9 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24588  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23808  $a ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24345  $a ПОЛИКРИСТАЛЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39622  $a ЭПИТАКСИЯ (физ.)  $2 DVNLB 
686 # # $a 47.09.29  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.01  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-466373  $a Аббасов  $b М. Г.  $g Микаил Гуммет оглы 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20000103  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo