Исследование столкновительных и диффузионных процессов при ионной имплантации: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 01.04.07 / Физ.-техн. ин-т Урал. округа Рос. Акад. наук
Guardado en:
| Formato: | |
|---|---|
| Autor principal: | Баранов, М. А. |
| Publicado: | Ижевск , 1999 |
| Descripción Física: |
22 с.
|
| Lenguaje: | Русский |
| Materias: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Hacer reserva | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||