Исследование столкновительных и диффузионных процессов при ионной имплантации: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 01.04.07 / Физ.-техн. ин-т Урал. округа Рос. Акад. наук
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Баранов, М. А. |
| Опубликовано: | Ижевск , 1999 |
| Физические характеристики: |
22 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||