Исследование столкновительных и диффузионных процессов при ионной имплантации: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 01.04.07 / Физ.-техн. ин-т Урал. округа Рос. Акад. наук

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад38269,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Баранов, М. А.
Опубликовано: Ижевск , 1999
Физические характеристики: 22 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br177880
005 20070615190935.6
100 # # $a 19991130d1999 u y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
105 # # $a y m 001yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Исследование столкновительных и диффузионных процессов при ионной имплантации  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук  $e 01.04.07  $f Физ.-техн. ин-т Урал. округа Рос. Акад. наук 
210 # # $a Ижевск  $d 1999 
215 # # $a 22 с. 
300 # # $a Библиогр.: c. 22 (5 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12158  $a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar53433  $a СТОЛКНОВЕНИЯ ЧАСТИЦ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35849  $a ФИЗИКА ТВЕРДОГО ТЕЛА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12159  $a ІОННАЯ ІМПЛАНТАЦЫЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar53434  $a СУТЫКНЕННІ ЧАСЦІЦ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35850  $a ФІЗІКА ЦВЁРДАГА ЦЕЛА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar26866  $a РАДЫЕАКТЫЎНАЕ АБПРАМЕНЬВАННЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar26865  $a РАДИОАКТИВНОЕ ОБЛУЧЕНИЕ  $2 DVNLB 
686 # # $a 29.19.17  $2 rugasnti 
686 # # $a 01.04.07  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-465317  $a Баранов  $b М. А.  $g Максим Александрович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19991130  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo