|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br177826 |
| 005 |
20070615190930.7 |
| 100 |
# |
# |
$a 19991126d1999 u y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 105 |
# |
# |
$a y m 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Ионный инплантер на средние энергии для технологических целей
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук
$e 01.04.20
$f Ин-т ядер. физики им. Г.И.Будкера СО РАН
|
| 210 |
# |
# |
$a Новосибирск
$d 1999
|
| 215 |
# |
# |
$a 10 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 9-10 (7 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12180
$a ИОННЫЕ ПУЧКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33874
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12181
$a ІОННЫЯ ПУЧКІ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12159
$a ІОННАЯ ІМПЛАНТАЦЫЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33875
$a ТЭХНАЛАГІЧНЫЯ ПРАЦЭСЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12158
$a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.15
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.27.23
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 01.04.20
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-464843
$a Чумаков
$b С. Н.
$g Сергей Николаевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 19991126
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
