Ионный инплантер на средние энергии для технологических целей: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 01.04.20 / Ин-т ядер. физики им. Г.И.Будкера СО РАН
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Чумаков, С. Н. |
| Опубликовано: | Новосибирск , 1999 |
| Физические характеристики: |
10 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||