Разработка процесса и оптимизация технологии нанесения тонкопленочных упрочняющих кремнийсодержащих покрытий осаждением из дуговой плазмы: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.03.06 / Могилев. машиностроит. ин-т

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад34664, 2Н//181225(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Голозубов, А. Л.
Опубликовано: Могилев , 1999
Физические характеристики: 21 с.
Язык: Русский
Предмет:
Е-документ: E-документ
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br177562
005 20211111114839.0
100 # # $a 19990513d1999 u y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
105 # # $a y 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Разработка процесса и оптимизация технологии нанесения тонкопленочных упрочняющих кремнийсодержащих покрытий осаждением из дуговой плазмы  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук  $e 05.03.06  $f Могилев. машиностроит. ин-т 
210 # # $a Могилев  $d 1999 
215 # # $a 21 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 17-18 (16 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar19558  $a НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar56881  $a УПРОЧНЯЮЩАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23641  $a ПЛАЗМА (физ.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23642  $a ПЛАЗМА (фіз.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15097  $a КРЭМНІЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar56882  $a УМАЦОЎВАЮЧАЯ АПРАЦОЎКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34162  $a ТОНКІЯ ПЛЁНКІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33871  $a ТЭХНАЛОГІЯ ВЫТВОРЧАСЦІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar22115  $a АСАДЖЭННЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar22114  $a ОСАЖДЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar19559  $a НАНЯСЕННЕ ПАКРЫЦЦЯЎ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.793.74(043.3)  $v 3  $z rus 
686 # # $a 55.22.19  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.03.06  $2 nsnrrb 
700 # 1 $3 BY-SEK-458034  $a Голозубов  $b А. Л.  $g Андрей Леонидович  $c кандидат технических наук 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19990513  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo 
856 4 # $u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/AD/2ad34664.pdf