Разработка процесса и оптимизация технологии нанесения тонкопленочных упрочняющих кремнийсодержащих покрытий осаждением из дуговой плазмы: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.03.06 / Могилев. машиностроит. ин-т
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Голозубов, А. Л. |
Опубликовано: | Могилев , 1999 |
Физические характеристики: |
21 с.
|
Язык: | Русский |
Предмет: | |
Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|