|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br173948 |
| 005 |
20070615190854.7 |
| 100 |
# |
# |
$a 19990624d1999 u y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 105 |
# |
# |
$a y m 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Развитие емкостных методов измерения профилей легирования полупроводниковых структур
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук
$e 01.04.10 ; 05.13.16
$f С.-Петерб. гос. ун-т
|
| 210 |
# |
# |
$a СПб.
$d 1999
|
| 215 |
# |
# |
$a 17 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 16-17 (10 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24596
$a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12158
$a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar37857
$a ЧИСЛЕННОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar25725
$a ПРОГРАММНОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar9575
$a ДИЭЛЕКТРИКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11335
$a ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24597
$a ПАЎПРАВАДНІКОВЫЯ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12159
$a ІОННАЯ ІМПЛАНТАЦЫЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar37858
$a ЛІКАВАЕ МАДЭЛЯВАННЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar9576
$a ДЫЭЛЕКТРЫКІ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11336
$a ВЫМЯРАЛЬНЫЯ СІСТЭМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar25726
$a ПРАГРАМНАЕ ЗАБЕСПЯЧЭННЕ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.31
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.29
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 01.04.10
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.13.16
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-461136
$a Уткин
$b А. Б.
$g Алексей Борисович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 19990624
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
