Развитие емкостных методов измерения профилей легирования полупроводниковых структур: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 01.04.10 ; 05.13.16 / С.-Петерб. гос. ун-т
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Уткин, А. Б. |
Опубликовано: | СПб. , 1999 |
Физические характеристики: |
17 с.
|
Язык: | Русский |
Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|