Развитие емкостных методов измерения профилей легирования полупроводниковых структур: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 01.04.10 ; 05.13.16 / С.-Петерб. гос. ун-т

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад34344,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Уткин, А. Б.
Опубликовано: СПб. , 1999
Физические характеристики: 17 с.
Язык: Русский
Предмет:

ОФХ отдела книгохранения

Всего : 1 , доступно: 1 Доступно  Заказать

Информация об экземплярах

Шифр Фонд Место нахождения Статус экземпляра Читальный зал
2Ад34344 ОФХ отдела книгохранения (039) 11:4:2:75 СВОБОДЕН Рекомендованный ЧитЗал