Развитие емкостных методов измерения профилей легирования полупроводниковых структур: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 01.04.10 ; 05.13.16 / С.-Петерб. гос. ун-т
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Уткин, А. Б. |
| Опубликовано: | СПб. , 1999 |
| Физические характеристики: |
17 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||