Формирование и свойства толстопленочных чувствительных элементов микроэлектронных датчиков концентрации монооксида азота (сенсоров NO): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.01 / Нац.АН Респ. Беларусь, Ин-т электроники

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад31685, 2Н//181228(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Томченко, А. А. (род. 1958)
Опубликовано: Мн. , 1999
Физические характеристики: 22 с.
Язык: Русский
Предмет:
МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ УСТРОЙСТВА
ХИМИЧЕСКИЕ СЕНСОРЫ
ДАТЧИКИ
ТОЛСТЫЕ ПЛЕНКИ
ВЫБРОСЫ
МОНИТОРИНГ
ХІМІЧНЫЯ СЕНСАРЫ
ДАТЧЫКІ
МІКРАЭЛЕКТРОННЫЯ ЎСТРОЙСТВЫ
ТОЎСТЫЯ ПЛЁНКІ
ВЫКІДЫ
МАНІТОРЫНГ
ОКСИДЫ АЗОТА
ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ
ВЫМЯРАЛЬНЫЯ СІСТЭМЫ
АКСІД АЗОТУ
ТОПЛИВОИСПОЛЬЗОВАНИЕ
Е-документ: E-документ
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br171512
005 20220314110835.0
100 # # $a 19990221d1999 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a by 
105 # # $a y 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Формирование и свойства толстопленочных чувствительных элементов микроэлектронных датчиков концентрации монооксида азота (сенсоров NO)  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук  $e 05.27.01  $f Нац.АН Респ. Беларусь, Ин-т электроники 
210 # # $a Мн.  $d 1999 
215 # # $a 22 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 17-19 (25 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18376  $a МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ УСТРОЙСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar29806  $a ХИМИЧЕСКИЕ СЕНСОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11345  $a ДАТЧИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34133  $a ТОЛСТЫЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar6460  $a ВЫБРОСЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18841  $a МОНИТОРИНГ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar29807  $a ХІМІЧНЫЯ СЕНСАРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11346  $a ДАТЧЫКІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18377  $a МІКРАЭЛЕКТРОННЫЯ ЎСТРОЙСТВЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34134  $a ТОЎСТЫЯ ПЛЁНКІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar6461  $a ВЫКІДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18842  $a МАНІТОРЫНГ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1933  $a ОКСИДЫ АЗОТА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11335  $a ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11336  $a ВЫМЯРАЛЬНЫЯ СІСТЭМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2760773  $a АКСІД АЗОТУ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar60298  $a ТОПЛИВОИСПОЛЬЗОВАНИЕ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 539.216(043.3)  $v 3  $z rus 
686 # # $a 29.19.01  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.01  $2 nsnrrb 
700 # 1 $3 BY-SEK-459635  $a Томченко  $b А. А.  $g Алексей Алексеевич  $c кандидат технических наук, электроника  $f род. 1958 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19990221  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo 
856 4 # $u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/AD/2ad31685.pdf 

Схожие документы