Формирование и свойства толстопленочных чувствительных элементов микроэлектронных датчиков концентрации монооксида азота (сенсоров NO): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.01 / Нац.АН Респ. Беларусь, Ин-т электроники
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Томченко, А. А. (род. 1958) |
Опубликовано: | Мн. , 1999 |
Физические характеристики: |
22 с.
|
Язык: | Русский |
Предмет: | |
Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|