Исследование методом эллипсометрии диэлектрических и полупроводниковых структур микроэлектроники: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: 01.04.10 / Гос унитар. предприятие "Науч.-произв. предприятие "Пульсар"", Акционер. об-во открыт. типа "НИИ микроэлектроники и нанотехнологии "Дельта""
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Резвый, Р. Р. |
| Publié: | М. , 1998 |
| Description matérielle: |
65 с.
|
| Langue: | Русский |
| Sujets: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Réserver | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||