Исследование методом эллипсометрии диэлектрических и полупроводниковых структур микроэлектроники: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: 01.04.10 / Гос унитар. предприятие "Науч.-произв. предприятие "Пульсар"", Акционер. об-во открыт. типа "НИИ микроэлектроники и нанотехнологии "Дельта""
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Резвый, Р. Р. |
| Опубликовано: | М. , 1998 |
| Физические характеристики: |
65 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||