Исследование методом эллипсометрии диэлектрических и полупроводниковых структур микроэлектроники: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: 01.04.10 / Гос унитар. предприятие "Науч.-произв. предприятие "Пульсар"", Акционер. об-во открыт. типа "НИИ микроэлектроники и нанотехнологии "Дельта""
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Резвый, Р. Р. |
| Published: | М. , 1998 |
| Physical Description: |
65 с.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||