|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br170136 |
| 005 |
20070615190726.2 |
| 100 |
# |
# |
$a 19981201d1998 u y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 105 |
# |
# |
$a y m 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Исследование методом эллипсометрии диэлектрических и полупроводниковых структур микроэлектроники
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук
$e 01.04.10
$f Гос унитар. предприятие "Науч.-произв. предприятие "Пульсар"", Акционер. об-во открыт. типа "НИИ микроэлектроники и нанотехнологии "Дельта""
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$d 1998
|
| 215 |
# |
# |
$a 65 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: c.58-65 (69 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar60422
$a ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar9575
$a ДИЭЛЕКТРИКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24594
$a ПОЛУПРОВОДНИКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18370
$a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar60423
$a ЭЛІПСАМЕТРЫЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar9576
$a ДЫЭЛЕКТРЫКІ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24595
$a ПАЎПРАВАДНІКІ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18371
$a МІКРАЭЛЕКТРОНІКА
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.03.05
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 26.19.31
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 01.04.10
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-450873
$a Резвый
$b Р. Р.
$g Ростислав Ростиславович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 19981201
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
