Исследование и разработка процесса МОС-гидридной эпитаксии нитрида галлия: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.06 / Моск. гос. акад. тон. хим. технологии им. М.В.Ломоносова
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Мармалюк, А. А. (род. 1970) |
| Published: | М. , 1998 |
| Physical Description: |
24 с.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||