Исследование и разработка процесса МОС-гидридной эпитаксии нитрида галлия: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.06 / Моск. гос. акад. тон. хим. технологии им. М.В.Ломоносова
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Мармалюк, А. А. (род. 1970) |
Опубликовано: | М. , 1998 |
Физические характеристики: |
24 с.
|
Язык: | Русский |
Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|