Исследование и разработка процесса МОС-гидридной эпитаксии нитрида галлия: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.06 / Моск. гос. акад. тон. хим. технологии им. М.В.Ломоносова

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад29601,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Мармалюк, А. А. (род. 1970)
Опубликовано: М. , 1998
Физические характеристики: 24 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br169696
005 20231116101848.0
100 # # $a 19981104d1998 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
105 # # $a a m 001yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Исследование и разработка процесса МОС-гидридной эпитаксии нитрида галлия  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук  $e 05.27.06  $f Моск. гос. акад. тон. хим. технологии им. М.В.Ломоносова 
210 # # $a М.  $d 1998 
215 # # $a 24 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 22-24 (10 назв.) Для служеб. пользования 
606 0 # $3 BY-NLB-ar58871  $a СВЕТОДИОДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3251604  $a НИТРИД ГАЛЛИЯ   $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1993079  $a МОС-ГИДРИДНАЯ ЭПИТАКСИЯ  $2 DVNLB 
686 # # $a 47.14.07  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.06  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-129197  $a Мармалюк  $b А. А.  $g Александр Анатольевич  $c доктор технических наук  $f род. 1970 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19981104  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo