Получение и исследование свойств гетероэпитаксиальных пленок СоSi2/Si и Si/CoSi2: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 01.04.04 / Акад. наук Респб. Узбекистан, Ин-т электроники им. У.А.Арипова

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад29399,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Усманов, М.
Опубликовано: Ташкент , 1998
Физические характеристики: 20 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br169482
005 20101201132020.0
100 # # $a 19981014d1998 u y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
105 # # $a y m 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Получение и исследование свойств гетероэпитаксиальных пленок СоSi2/Si и Si/CoSi2  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук  $e 01.04.04  $f Акад. наук Респб. Узбекистан, Ин-т электроники им. У.А.Арипова 
210 # # $a Ташкент  $d 1998 
215 # # $a 20 с. 
300 # # $a Библиогр.: c. 18-20(14 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34162  $a ТОНКІЯ ПЛЁНКІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2899203  $a КРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2899204  $a КРЫШТАЛІЧНЫЯ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
610 0 # $a Гетероэпитаксиальные пленки 
610 0 # $a Гетэраэпітаксіальныя плёнкі 
686 # # $a 29.35.37  $2 rugasnti 
686 # # $a 01.04.04  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-449171  $a Усманов  $b М.  $g Мураткасим 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19981014  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo