Получение и исследование свойств гетероэпитаксиальных пленок СоSi2/Si и Si/CoSi2: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 01.04.04 / Акад. наук Респб. Узбекистан, Ин-т электроники им. У.А.Арипова
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Усманов, М. |
Опубликовано: | Ташкент , 1998 |
Физические характеристики: |
20 с.
|
Язык: | Русский |
Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|