|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br167958 |
| 005 |
20240213113018.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 19971209d1993 u y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 105 |
# |
# |
$a y km 001yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Автоматизированная система управления дуговым источником многозарядных ионов с подогревным катодом и катодным распылением рабочего вещества
$e Автореф.дис.на соиск.учен.степ.канд.техн.наук:(05.13.07)
$f Моск.инж.-физ.ин-т
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$d 1993
|
| 215 |
# |
# |
$a 19 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: c.17-19 (15 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar55089
$a АСУ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar55090
$a АСК
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1585
$a АВТОМАТИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ КОНТРОЛЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1586
$a АЎТАМАТЫЧНЫЯ СІСТЭМЫ КАНТРОЛЮ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar6492365
$a КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18580
$a МНОГОЗАРЯДНЫЕ ИОНЫ
$2 DVNLB
|
| 610 |
0 |
# |
$a подогревные катоды
|
| 610 |
0 |
# |
$a падагравальныя катоды
|
| 675 |
# |
# |
$a 658.012(043.3)
$v 3
$z rus
|
| 675 |
# |
# |
$a 658.511.4(043.3)
$v 3
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 50.47.00,55.13.15.
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.13.07
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-444905
$a Касьянов
$b А. А.
$g Александр Александрович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 19971209
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
